作用
清除石英工艺管表面的工艺沉积与污染，供检验后再使用。
工作原理
设备使适配清洗液接触管表面去除沉积，再以去离子水充分漂洗；支承和旋转/喷淋方式按管形布置。
工艺动作
- 检查管件与支承
- 装载并关闭防护
- 按批准工艺清洗
- 去离子水漂洗
- 按配置干燥并检查
关键输入
- 管径长度与壁厚
- 沉积物类型
- 接液材料兼容
- 漂洗和废液接口
常见误区
- 设备接液材料耐受HF，不代表石英管本身不会被HF侵蚀。
适用边界
- 清洗液体系、浓度和接触时间需与沉积物去除要求及石英材料的耐蚀边界匹配。
- 干燥和自动滚管取决于设备配置。
功能模块
耐腐蚀处理腔
容纳管件与清洗液接触过程，并隔离湿法处理区域。
管件支承
承托石英管，保持清洗时的位置与姿态。
清洗供回液
向管表面提供清洗液，并组织回液。
漂洗排液
提供去离子水漂洗，并导出漂洗水和废液。
排风/联锁
排出处理区域气体，并协调防护关闭与清洗动作。
厂家与技术资料
按机种继续查阅厂家产品、工作原理与技术说明。